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综合介绍目前无线通讯产品中使用的各种类型RF-MEMS器件,统一说明RF-MEMS器件的基本工作原理,并分析RF-MEMS器件加工的关键工艺技术及设计制作时应注意的问题.
RF-MEMS器件及其关键工艺技术
【摘 要】
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综合介绍目前无线通讯产品中使用的各种类型RF-MEMS器件,统一说明RF-MEMS器件的基本工作原理,并分析RF-MEMS器件加工的关键工艺技术及设计制作时应注意的问题.
【机 构】
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厦门大学物理与机电工程学院,厦门大学物理与机电工程学院
【出 处】
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集美大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2005年2期
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