【摘 要】
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<正> 科学院109厂、哈尔滨量具刃具厂、阿城继电器厂共同研制的 KHA75-1型接近、接触式半自动光刻机,最近经过科学院半导体所王守武副所长等专家们组成的鉴定委员会审查,认为
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<正> 科学院109厂、哈尔滨量具刃具厂、阿城继电器厂共同研制的 KHA75-1型接近、接触式半自动光刻机,最近经过科学院半导体所王守武副所长等专家们组成的鉴定委员会审查,认为这台光刻机的技术指标达到了设计要求。KHA75-1型光刻机适用于φ40、φ50、φ75毫米等不同规格的硅片,可用于接近式、软接触和硬接触方式曝光,除输片及瞄准外,其它均为自动操作。该机采用电感测
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