液体低流速测量热分布式微纳传感器制造与测试

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面向液体低流速测量应用需求,基于介质热传递工作原理,采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以玻璃为衬底的微纳热分布式流速传感器,加热和测温元件均采用铂电阻,传感器芯片尺寸仅为10 mm×10 mm,测温电阻与中心加热电阻的间距为0.8 mm,完成了芯片的封装及测试.通过实验测试,在室温条件下,传感器加热电阻为108.8Ω,测温电阻为525.2Ω,且测温电阻具有良好的温度—阻值线性度(R2≥0.9999),传感器适用量程为0~90 mm/s,在极低流速0~20 mm/s范围测试,有较好的输出曲线关系,最高灵敏度达到0.06mV/(mm·s-1),且有较好的稳定性能.传感器具有尺寸小、成本低、可批量制造,将为液体流速测量领域提供核心传感器.
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针对烧蚀传感器使用环境的高温高压和烧蚀传感器测量需满足快速、准确、在线测量等难题,利用烧蚀材料在烧蚀过程中形成碳化层将埋在烧蚀材料中的金属导线联通,接通外电路,输出电信号的原理实现烧蚀厚度与电量之间的转换.详细说明了烧蚀传感器的工作原理及其电路设计方法.试验结果表明:该烧蚀传感器测量结果误差达到±0.1 mm,满足实际使用要求.
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