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超声换能器是超声键合装备的一个重要组成部分,芯片的键合质量与超声换能器的响应有着非常密切的关系。通过有限元分析软件ANSYS进行建模,获得换能系统谐响应曲线,并利用多普勒测速仪验证有限元分析的结果。
超声换能器ANSYS建模及谐响应分析
【摘 要】
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超声换能器是超声键合装备的一个重要组成部分,芯片的键合质量与超声换能器的响应有着非常密切的关系。通过有限元分析软件ANSYS进行建模,获得换能系统谐响应曲线,并利用多普
【机 构】
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中南大学机电工程学院,湖南铁路科技职业技术学院
【出 处】
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科学技术与工程
【发表日期】
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2009年10期
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