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期刊论文
氮化镓薄膜的研究进展
氮化镓薄膜的研究进展
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:klose123
【摘 要】
:
主要讨论了Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料氮化镓(GaN)薄膜的制备工艺、掺杂、衬底和缓冲层等相关问题,并提出了目前GaN研究中所面临的主要问题以及氮化镓材料的应用前景.
【作 者】
:
李忠
魏芹芹
杨利
薛成山
【机 构】
:
山东师范大学物理与电子学院
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
氮化镓薄膜
掺杂
衬底
缓冲层
GaN
thin films
semiconductor
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主要讨论了Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料氮化镓(GaN)薄膜的制备工艺、掺杂、衬底和缓冲层等相关问题,并提出了目前GaN研究中所面临的主要问题以及氮化镓材料的应用前景.
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