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采用PCM技术对砷化镓0．5μm PHEMT开关工艺关键工艺步骤进行定量严格监控，并对关键工艺节点进行工序能力评价（Cpk），运用统计过程控制（SPC）技术对采集的工艺数据进行分析，实现了开关工艺的稳定受控，工艺水平不断提高，砷化镓单片开关的成品率逐步提升；同时采用REM技术对该工艺制作的PHEMT开关器件、无源元件进行可靠性的预先估计，实现了对该标准工艺的可靠性评估。研究数据表明，砷化镓0．5μm PHEMT开关标准工艺PCM成品率达到90％，开发的单片开关和衰减器成品率不低于80％；砷化镓单片开关在最