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期刊论文
平面深图案加工新工艺
平面深图案加工新工艺
来源 :现代制造工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tdsc110
【摘 要】
:
针对平面深图案的加工问题,提出了一种新的加工工艺--"蚀刻制模+靠模加工",并详细介绍其工艺过程和工艺参数.实践证明,这一过程及其参数正确并有实际应用价值.
【作 者】
:
涂晶洁
【机 构】
:
南昌航空工业学院
【出 处】
:
现代制造工程
【发表日期】
:
2005年10期
【关键词】
:
深图案加工
蚀刻
靠模
Manufacturing for a deep patterns Etching Template
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针对平面深图案的加工问题,提出了一种新的加工工艺--"蚀刻制模+靠模加工",并详细介绍其工艺过程和工艺参数.实践证明,这一过程及其参数正确并有实际应用价值.
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