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一、项目概况MOCVD（Metal Organic Cheroical Vapor Deposition）材料生长装备，即金属有机物化学气相沉积设备，是化合物半导体外延材料研究和生产的关键设备，特别适合化物半导体功能结构材料的规模化生产，是其它半导体设备所无法替代的核心半导体装备，
MOCVD材料生长重大装备项目
【摘 要】
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一、项目概况MOCVD（Metal Organic Cheroical Vapor Deposition）材料生长装备，即金属有机物化学气相沉积设备，是化合物半导体外延材料研究和生产的关键设备，特别适合化物半导体功
【出 处】
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中国粉体工业
【发表日期】
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2013年1期
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