全自动探针台硅片传输系统的预对准算法研究

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提出了一种硅片传输系统的预对准算法,根据线阵CCD采集的边缘电压数据并结合机械手的固有特性,计算出圆心坐标和切边位置,实现硅片的预对准。经过实验验证,该算法有效提高了预对准的可靠性和稳定性。
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