我国首条200 mm硅单晶抛光片生产线通过验收

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我国首条可满足0.25μm线宽IC需求的200 mm(8英寸)硅单晶抛光片生产线——硅单晶抛光片高技术产业化示范工程日前通过整体验收。业内人士认为,200 mm硅单晶抛光片示范工程项目,可在一定程度上满足 China’s first 200 mm (8 inch) silicon single crystal polishing wafer production line capable of meeting 0.25 μm linewidth IC demand-the silicon single crystal polishing wafer high-tech industrialization demonstration project passed the overall acceptance. The personage in the industry believes that 200 mm silicon single crystal polishing plate demonstration project, to a certain extent, meet
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