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对三氯氢硅气相色谱分析条件进行了研究，确定了三氯氢硅毛细管柱的色谱分析条件。采用确定的色谱分析条件进行了方法的线性范围测定，得到线性相关系数R=0．99993。进行了方法的平行性和重复性试验．结果表明：方法的平行性好，重复性好，三氯氢硅质量分数的相对标准偏差（RSD）d、于0．02％，结果令人满意。