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介绍了电子束物理气相沉积设备的结构、工艺特点及应用范围，并在此基础上介绍了电子束物理气相沉积技术在制备热障涂层、微层材料以及新型叶片等方面取得的应用成果。
电子束物理气相沉积技术及其应用现状
【摘 要】
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介绍了电子束物理气相沉积设备的结构、工艺特点及应用范围，并在此基础上介绍了电子束物理气相沉积技术在制备热障涂层、微层材料以及新型叶片等方面取得的应用成果。
【机 构】
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哈尔滨工业大学复合材料研究所
【出 处】
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航空制造技术
【发表日期】
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2003年11期
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