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InGaAs/GaAs异质结构材料及器件应用
InGaAs/GaAs异质结构材料及器件应用
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wyn6098
【摘 要】
:
概述了InGaAs/GaAs异质结构材料用于制作微波器件的优越性,叙述了材料的MBE生长,输运特性和掺杂分布,以及用于制作Ku波段低噪声高增益HFET的结果:栅长0.5μm,12GHz下噪声系数0.93dB,相关增益9dB.
【作 者】
:
彭正夫
张允强
【机 构】
:
南京电子器件研究所
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1994年3期
【关键词】
:
微波器件
异质结构
INGAAS/GAAS
InGaAs/GaAs Heterostructure
MBE
Hall Effect
C-V Profile
HF
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概述了InGaAs/GaAs异质结构材料用于制作微波器件的优越性,叙述了材料的MBE生长,输运特性和掺杂分布,以及用于制作Ku波段低噪声高增益HFET的结果:栅长0.5μm,12GHz下噪声系数0.93dB,相关增益9dB.
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