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纳米电子器件-高峰值峰谷电流比InP基共振隧穿二极管的实现
纳米电子器件-高峰值峰谷电流比InP基共振隧穿二极管的实现
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wdxf365
【摘 要】
:
利用分子束外延技术研制出InP基IhAs/In0.53Ga0.47As/AlAs共振隧穿二极管,其中势垒为10个单分子AlAs,势阱由8个单分子层In0.53Ga0.47As阱和4个单分子层InAs子阱组成.室温下峰
【作 者】
:
张杨
曾一平
马龙
王保强
朱战平
王良臣
杨富华
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2007年z1期
【关键词】
:
共振隧穿二极管
INP基
分子束外延
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利用分子束外延技术研制出InP基IhAs/In0.53Ga0.47As/AlAs共振隧穿二极管,其中势垒为10个单分子AlAs,势阱由8个单分子层In0.53Ga0.47As阱和4个单分子层InAs子阱组成.室温下峰值电流密度接近3kA/cm2,峰和谷的电流密度比率达到19.
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