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本文叙述了用ICP－AES法对不同级别出口工业硅中规定的杂质元素Fe ,Al,Ca的测定方法。称取0.4克样品用HF－HNO3－H2SO4分解，残留物用稀盐酸溶解，定容于100毫升量瓶中，吸取25毫升于50毫升量瓶中，用水稀释至刻度，用PlasmaⅡ型发射光谱仪测定。精密度均在5％以下，用本法和国标指定方法进行成对试验，用数理统计方法作F检验和t检验。证明两种方法无显著性差异。