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半导体加工系统是一个非常复杂的、离散事件和连续时间相结合的混合动态系统,离散Petri网不能很好地对这样的系统进行建模和分析,混合Petri网可以很好地描述半导体加工系统的静态属性及动态行为.实际上,运用离散Petri网将面临状态爆炸以及仿真的高消耗的问题.混合Petri网用来对半导体加工系统进行建模和仿真,这类模型用于微开关加工流程的建模和仿真,证明结果很精确并且仿真速度很快.