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彩色滤光片(Color Filter,以下简称CF)作为TFT-LCD面板的关键组件,其生产工艺复杂,制作过程中要经过多种机械设备和机构的传送,经常会发生基板的破损,造成产品良率和产能的损失。目前,面板生产线发现基板破损,大多因传感器或驱动部分异常报警停机被动发现,需进入设备内部清理破片和碎屑,但因破片发生的设备和破片散落区域的随机性,处理破片和恢复生产线所需的时间较长,造成的产能损失大并且清洁范围和位置易受处理人员主观判断的影响易造成批量的品质不良,因此迫切需要研究基板破损的提前自动检测和管控方法