【摘 要】
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针对微纳卫星冷气推进系统和空间电推进系统变推力的任务需求,提出一种基于MEMS(微机电系统)技术的相变材料气体微流量调节阀设计方案以实现对推进工质的流量调节。利用MEMS
【机 构】
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上海交通大学机械与动力工程学院,上海空间发动机工程技术研究中心
【基金项目】
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上海市科学技术委员会资助课题(17DZ2280800)
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针对微纳卫星冷气推进系统和空间电推进系统变推力的任务需求,提出一种基于MEMS(微机电系统)技术的相变材料气体微流量调节阀设计方案以实现对推进工质的流量调节。利用MEMS加工工艺制得微致动器和微流量调节阀,通过表面轮廓仪测量微致动器调节膜片形变特性与输入电流的相互关系,通过间接法测量流经该调节阀的气体质量流量,结果表明:当输入电流小于12 mA,微致动器无明显形变,微阀气体流量无明显变化;当输入电流大于12 mA,微致动器形变明显增加,微阀气体流量显著减小;当输入电流大于48 mA,微致动器形变基本不变,
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