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场发射金属尖阴极阵列的制备
场发射金属尖阴极阵列的制备
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhaofeng130
【摘 要】
:
本文采用SiO2作锥尖的塑模,再利用塑模制备出场发射金属尖阴极阵列,并给出SEM金属尖照片,分析了工艺因素对金属尖的影响,同时提出了真空微电子二极管和三极管的设想。
【作 者】
:
陈德英
唐国洪
【机 构】
:
东南大学
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
1996年4期
【关键词】
:
场发射
真空微电子器件
金属阴极锥尖
field emission
metal tip
SiO2 for the cusp molding technolo
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本文采用SiO2作锥尖的塑模,再利用塑模制备出场发射金属尖阴极阵列,并给出SEM金属尖照片,分析了工艺因素对金属尖的影响,同时提出了真空微电子二极管和三极管的设想。
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