【摘 要】
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金属镍微型静电马达的观察唐圣明陈思琴王效东（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）微电子机械学是近年来国际上新兴的一门学科。它把微电子工业中的许多加工技术引入到微机械零件的
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金属镍微型静电马达的观察唐圣明陈思琴王效东（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）微电子机械学是近年来国际上新兴的一门学科。它把微电子工业中的许多加工技术引入到微机械零件的制造中，从而批量制造各种微型的机械零件，直至微型机械人。本文所介绍的金属...
Observation of Micromachined NiMD Electrostatic Motor Tang Shengming Chen Siqin Wang Xiaodong (Shanghai Institute of Metallurgy, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, China) Microelectronics mechanics is a newly emerging discipline in recent years. It introduces many of the processing technologies in the microelectronics industry into the manufacture of micromechanical parts to make a variety of micromechanical parts in batches down to micromechanics. This article describes the metal ...
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