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扫描透射电子显微术(STEM)的原子序数衬度(Z-contrast)像具有分辨率高、对化学组成敏感以及图像直观可直接解释等优点。Z-衬度像成像方法是近年来在国外兴起的一种新型的高分辨成像方法,本文主要介绍了扫描透射电子显微术(STEM)的原子序数衬度像(Z-衬度像)的成像原理及方法,并指出了在材料科学研究中Z-衬度像的突出特点及应用前景。