【摘 要】
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对光学元件表面划痕进行了细致的观察，并将它们分为单划痕、双划痕和多划痕三类，采用时域有限差分方法，以加工过程中常见的直径为二分之一波长的半圆形划痕为基本研究对象，数值模
【机 构】
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四川大学电子信息学院,中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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对光学元件表面划痕进行了细致的观察，并将它们分为单划痕、双划痕和多划痕三类，采用时域有限差分方法，以加工过程中常见的直径为二分之一波长的半圆形划痕为基本研究对象，数值模拟了位于光学元件前后表面的多条划痕附近的空间光强分布，总结了在不同划痕条数下光强最大值随着划痕间距变化的曲线图。结果表明：位于光学元件后表面的划痕比位于前表面时更加容易引起光学损伤；在多条划痕情况下，空间光强最大值随着划痕间距的增大呈周期性变化，并随着划痕间距的不断增大而趋于一稳定数值。
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