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Optical and Micro-Structural Properties of ZnO Thin Films Grown on Silicon Substrate by Pulsed Laser

来源 :中国稀土学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gjx0128

【摘 要】

：

ZnO thin films were deposited on n-Si (111) at various substrate temperatures and oxygen pressures by pulsed laser deposition (PLD) using a Nd∶YAG laser with t

【作 者】

：

He Jianting Zhuang Huizhao X 

【机 构】

：

InstituteofSemiconductor

【出 处】

：

中国稀土学报：英文版

【发表日期】

：

2006年z1期

【关键词】

：

PLD ZnO SUBSTRATE temperature OXYGEN PRESSURE 

【基金项目】

：

Project supported by the National Natural Science Foundation of China (90301002 and 90201025)

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ZnO thin films were deposited on n-Si (111) at various substrate temperatures and oxygen pressures by pulsed laser deposition (PLD) using a Nd∶YAG laser with the wavelength of 1064 nm. X-ray diffraction (XRD), photoluminescence (PL), scanning electron mic

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