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声表面波(SAW)器件作为一种快速、超小型的频率控制、选择和信号处理器件,对半导体产业、电子和通信系统的发展起着极为重要的作用.顾名思义,声表面波是一种在固体表面传播的弹性波,最早由英国物理学家瑞利于19世纪80年代在研究地震波的过程中偶然发现.
一种全新的金属膜剥离技术
【摘 要】
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声表面波(SAW)器件作为一种快速、超小型的频率控制、选择和信号处理器件,对半导体产业、电子和通信系统的发展起着极为重要的作用.顾名思义,声表面波是一种在固体表面传播的
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所;中国电子科技集团公司第二十六研究所能力建设处
【出 处】
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科技纵览
【发表日期】
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2018年11期
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