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介绍用正弦波光栅传感器测量位移的、测量电路原理、结构和功能模块的电路设计。测量电路采用高速Ａ／Ｄ转换并进行数值计算的方法实现位移的测量，具有高速、高精度、高分辨力的特点，适用于精密位移检测和精密位置控制系统。
用正弦波光栅的精密位移测量
【摘 要】
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介绍用正弦波光栅传感器测量位移的、测量电路原理、结构和功能模块的电路设计。测量电路采用高速Ａ／Ｄ转换并进行数值计算的方法实现位移的测量，具有高速、高精度、高分辨力的特点
【机 构】
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桂林电子工业学院
【出 处】
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电测与仪表
【发表日期】
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1999年10期
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