铜在臭氧中腐蚀初期的行为与机理

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采用石英晶体微天平(QCM)反应性监测方法研究了铜在臭氧环境中的腐蚀初期行为及机理。通过监测不同臭氧浓度、不同温度下表面镀铜石英晶振片的频率变化,得到铜在臭氧环境中的腐蚀动力学曲线,并据此计算了腐蚀速度等参数,进一步推测铜在臭氧中的腐蚀机理。结果表明,在特定腐蚀条件下,镀铜石英晶振片的频率随时间变化呈下降趋势,说明晶振片表面的铜与腐蚀介质发生反应生成腐蚀产物,导致镀铜石英晶振片表面质量增加,引起频率下降。臭氧浓度和温度对铜的腐蚀行为有着不同程度的影响,随着臭氧浓度的增大和反应温度的升高,铜的腐蚀速率不断增
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