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JSM-6390／6490系列扫描电子显微镜具有实时图像展示、流线图像界面和增强的低千瓦电压操作等特点。该系统允许同时观察三个不同的图像、进行屏幕上测量以及简化操作的智能化设置。30kV电压下二次电子的分辨率为3．0nm，3kV时为8nm，1kV时为15nm；放大倍数范围在5．300，000倍。该系列有五种型号，分别可以提供低真空操作、三种载物台尺寸以及可控制角度的载物台。