【摘 要】
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提出了一种应变反馈式压电驱动光学偏转器。首先介绍压电光学偏转器的机械结构及内部组成原理,光学偏转器内部集成两个应变反馈式压电驱动器,来实现对镜面的驱动及其角位移测
【机 构】
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河南理工大学机械与动力工程学院,中国科学院光电技术研究所自适应光学重点实验室,
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提出了一种应变反馈式压电驱动光学偏转器。首先介绍压电光学偏转器的机械结构及内部组成原理,光学偏转器内部集成两个应变反馈式压电驱动器,来实现对镜面的驱动及其角位移测量。然后自准直仪用于校准偏转器,获得的偏转精度为0.05′,并进行一系列开闭环实验以验证定位和跟踪性能。实验结果表明:在开环模式下,30min的定位时间内出现12.60%的蠕变,对变幅值三角波的偏转跟踪误差占偏转量程的13.70%;在闭环模式下,蠕变基本得到消除,对变幅值三角波的偏转跟踪误差占偏转量程的4.31%。因此所设计的压电光学偏转器结构合理,性能稳定,具有较好的工程应用价值。
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