【摘 要】
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在K．S．Chen et al．（2003）和M．T．Chao et al．（2005）研究理论的基础上，改变他们使用的单变量工序能力指数表达式，建立了基于成品率的多变量工序能力指数计算模型。该模型不要求工序的单个质
【机 构】
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西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室
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在K．S．Chen et al．（2003）和M．T．Chao et al．（2005）研究理论的基础上，改变他们使用的单变量工序能力指数表达式，建立了基于成品率的多变量工序能力指数计算模型。该模型不要求工序的单个质量特性数据分布必须满足正态分布，并在一定程度上简化了计算过程，其理论基础对应用人员更容易被理解。同时，指出并改正当前对工序能力指数和成品率关系的错误应用，最后给出该多变量工序能力指数的应用分析。
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