【摘 要】
:
随着集成电路特征线宽的不断减小,当前的光刻系统中光的衍射和干涉等问题严重地影响了掩模图形的曝光准确性,而要解决这种问题的关键是采用RET(精度增强技术,Resolution Enha
论文部分内容阅读
随着集成电路特征线宽的不断减小,当前的光刻系统中光的衍射和干涉等问题严重地影响了掩模图形的曝光准确性,而要解决这种问题的关键是采用RET(精度增强技术,Resolution Enhanced Technology)。本文对现有的RET方法从系统的角度进行了总结。从一个光刻系统的图形出发,介绍了目前与之相关的RET方法并对RET的发展前景作了展望。
With the continuous decrease of the characteristic line width of integrated circuits, the problems of light diffraction and interference in the current lithography system seriously affect the exposure accuracy of the mask patterns. The key to solving this problem is to use RET Enhanced Technology. This article summarizes the existing RET methods from a system perspective. Starting from the graphic of a lithography system, the present RET methods are introduced and the prospect of RET is forecasted.
其他文献
自从公共价值的概念被提出之后,公共价值的概念在学术上和实践中日益受到大家的认可,但是对于公共价值相关文献的起源,经验基础和应用没有正式的定义。起初由Moore提出公共价
造型基础课程作为艺术设计专业的基础性课程,在艺术设计教育中占有重要地位。而造型基础课程以其独有的特征对提高艺术设计创造力有着十分积极的作用,因此,我们必须充分认识
在充分研究和详细总结国内外河流生态系统健康指标及其评价研究成果基础上,通过对河流生态系统结构、功能以及生态系统的物质和能量流等方面的进一步识别,从河流生态系统活力
教学是提升个体精神生命的实践活动,知识与个体的精神世界存在着意义关系。教学实践中知识意义性缺失的主要原因是传统课程知识观存在实证主义取向和心理学取向。为此,有必要
通过对CIEE(美国国际教育交流协会)上海学习中心的部分课堂的教学录音分析,结合对调查对象的汉语课堂焦虑度量表的统计,研究对外汉语教师使用的即时纠误反馈方式与学生课堂焦
CH400综合传动装置功能全面、整体技术水平先进,能够明显提高装甲车的机动性能,它与现有装备的机械传动相比综合技术先进、结构复杂,故障机理更加复杂、维修难度大,现有检测手段
近年来,日本在发展国际旅游业取得了骄人的成绩。2014年境外旅客人数突破了1000万人次。日本入境游玩人数占出境人数的比率从1990年的29.3%增长到2014年的77.8%,观光客的总消
用自行研制的特殊取样系统对工业提升管进行现场取样,将取得的气体、液体、固体催化剂样品进行处理分析,从而得到了工业提升管不同高度位置处的气体组成、液体产品分布、催化剂
朱熹理学带有明显的禁欲主义倾向,陆王心学则更倾向于制欲主义,共同的特点都是"存天理,灭人欲";明末清初思想家则强调要"足民之欲",认为凡人不能物欲,理就在于天下的公欲,开
金融广告主要包括银行广告和保险广告。《大公报》的金融广告代表了我国近代金融广告的整体水平、王郅隆时期《大公报》的金融广告异军突起,几乎成了《大公报》广告的支柱,其