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介绍了一种新型的适用于化学气相沉积及表面治金的等离子炬，并对其设计原则及结构、性能进行了分析研究。该等离子炬具有阳极喷嘴直径大、等离子弧为均匀放电非转移柔性弧和输出热效率高等特点。
适用于CVD及表面冶金的等离子喷炬
【摘 要】
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介绍了一种新型的适用于化学气相沉积及表面治金的等离子炬，并对其设计原则及结构、性能进行了分析研究。该等离子炬具有阳极喷嘴直径大、等离子弧为均匀放电非转移柔性弧和输
【机 构】
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山东矿业学院,秦安市金属材料表面处理中心筹建处
【出 处】
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电镀与环保
【发表日期】
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1994年1期
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