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超精密机床是实现超精密加工的必要条件，它在研制成功对微电子，国防等尖端技术具有十分重要的意义，本文研究了超精密机床的关键部分－激光在线测量系统，并对其快速数据采集系统的硬件设计进行了深入的探讨，为超精密机床的研制奠定了基础。
超精密机床在线测量系统及其快速数据采集系统的硬件设计与研究
【摘 要】
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超精密机床是实现超精密加工的必要条件，它在研制成功对微电子，国防等尖端技术具有十分重要的意义，本文研究了超精密机床的关键部分－激光在线测量系统，并对其快速数据采集系统的硬
【机 构】
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哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学150006,150006
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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1994年11期
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