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新一代紫外光源--激发态双分子紫外光源(Excimer UV Sources),因其高输出能量,低的反应温度,反应时间 可以大面积应用的优越特性,在物理、化学、医学领域,特别是在现代光刻技术、微电子技术中展现了极广的应用前景。本文报道Excimer上光源在制备金属薄膜材料方面的应用研究。金属钯是一种优良的催剂,首先在各种衬底如:Al2O3、AlN、玻璃以及聚合物等上面淀积钯的金属有机化合物薄膜,再