【摘 要】
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MEMS陀螺仪的振动环境性能是制约其应用的重要指标。针对MEMS音叉式陀螺仪，分析了检测电极在驱动运动作用下的变形对陀螺仪振动性能产生影响的机理。建立了振动环境中包含检测电极变形在内的误差信号模型，将误差信号的频率成分与角速率响应信号进行了对比分析。通过对检测质量的受力状态进行优化，降低了检测电极变形的有效值，将振动误差信号的幅度从25 dB降低到9 dB以下，大幅提升了MEMS陀螺仪的振动环境适
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MEMS陀螺仪的振动环境性能是制约其应用的重要指标。针对MEMS音叉式陀螺仪，分析了检测电极在驱动运动作用下的变形对陀螺仪振动性能产生影响的机理。建立了振动环境中包含检测电极变形在内的误差信号模型，将误差信号的频率成分与角速率响应信号进行了对比分析。通过对检测质量的受力状态进行优化，降低了检测电极变形的有效值，将振动误差信号的幅度从25 dB降低到9 dB以下，大幅提升了MEMS陀螺仪的振动环境适应性。
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