【摘 要】
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在光学级双面抛光硅衬底上,采用准分子KrF激光,保持激光单脉冲能量700 mJ和激光功率密度8.27× 108W/cm2不变,通过倾斜衬底的方法,在沉积角度(等离子体中粒子的飞行方向与衬
【机 构】
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武汉军械士官学校光电技术研究所 武汉 430075
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在光学级双面抛光硅衬底上,采用准分子KrF激光,保持激光单脉冲能量700 mJ和激光功率密度8.27× 108W/cm2不变,通过倾斜衬底的方法,在沉积角度(等离子体中粒子的飞行方向与衬底表面法线的夹角)分别为0o,20o和40o三种条件下沉积出三个类金刚石(DLC)膜样品.测试分析了不同沉积角度下DLC膜样品的红外透过率、纳米硬度、弹性模量及拉曼光谱.发现沉积角度从0o增加到40P的过程中,沉积角度越大,DLC膜的透过率越低,光学吸收越大,纳米硬度和弹性模量也越小,拉曼光谱的分峰结果中D峰与G峰的积分强度比ID/IG逐渐变大,G峰半高宽变小,说明膜中金刚石相(sp3键)含量逐渐减小.利用“浅注入”理论分析了沉积角度对DLC膜性能的影响机理,从而揭示了激光沉积大面积平面及球面DLC膜时衬底不同位置DLC膜性能不一致的机理.
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