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步进扫描式光刻机隔振试验平台主动减振系统试验研究
步进扫描式光刻机隔振试验平台主动减振系统试验研究
来源 :噪声与振动控制 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong561
【摘 要】
:
根据步进扫描式光刻机的振动特点,设计隔振试验平台的减振系统,并对试验平台的主动减振系统进行测试研究。测试结果表明,步进扫描式光刻机隔振试验主动减振系统,能有效降低光刻机
【作 者】
:
杨辅强
吴运新
邓习树
【机 构】
:
中南大学机电工程学院
【出 处】
:
噪声与振动控制
【发表日期】
:
2008年4期
【关键词】
:
振动与波
步进扫描式光刻机
主动减振
试验研究
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根据步进扫描式光刻机的振动特点,设计隔振试验平台的减振系统,并对试验平台的主动减振系统进行测试研究。测试结果表明,步进扫描式光刻机隔振试验主动减振系统,能有效降低光刻机工作过程中运动部件对工作平台的冲击,具有良好的减振效果。
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