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分析了冷阴极潘宁离子源中氢的碰撞电离过程,定性讨论了电磁场强弱、压强大小对氢电离的影响,并阐述了电极材料的特性及选用方法,可为设计小型潘宁离子源部件提供参考依据,对提高潘宁离子源工作稳定性具有一定的实际意义.
潘宁离子源中电磁场和气压对氢气电离的影响
【摘 要】
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分析了冷阴极潘宁离子源中氢的碰撞电离过程,定性讨论了电磁场强弱、压强大小对氢电离的影响,并阐述了电极材料的特性及选用方法,可为设计小型潘宁离子源部件提供参考依据,对
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2003年6期
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