AlN /GaN分布布拉格反射器反射率的研究

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从理论上推导出分布布拉格反射器(DBR)反射率的计算公式,分析了GaN基材料DBR反射率与单层膜折射率、多层膜的对数、单层膜的厚度等的关系,发现20对AlN/GaN构成的1/4波长DBR的反射率在中心波长410 nm下达到了0.999 5,分析了DBR反射率随单层厚度波动的影响,并发现随着正偏差的增大,最大反射率对应的波长增大.相同对数AlN/GaN多层膜的反射率比AlGaN/GaN多层膜的反射率大,因此,AlN/GaN比AlGaN/GaN更适合做反射器.
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