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采用溶胶-凝胶法在Si和Ni衬底上制备LaFeO3薄膜,研究退火处理对LaFeO3薄膜的相结构、形貌和成分的影响,及退火温度和环境温度对LaFeO3薄膜电化学性能的影响.结果表明:退火后2种衬底上的LaFeO3薄膜都具有钙钛矿型正交结构,随退火温度升高薄膜晶粒尺寸交大,Si和Ni衬底上制备的LaFeO3薄膜的最佳结晶温度分别是900、700℃.Si衬底上的LaFeO3薄膜退火后为颗粒膜,薄膜表面平整,与衬底接触良好,900℃退火后薄膜表面出现裂纹.Ni衬底上的LaFeO3薄膜退火后表面平整致密,800℃开