【摘 要】
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介绍一种在分步投影光刻机中，采用不等栅距光栅进行对准的系统。详细介绍了该系统的光学原理、所采用对准目标的刻线形式、空间滤波的方法、信号处理的方法和对系统有影响的误
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介绍一种在分步投影光刻机中，采用不等栅距光栅进行对准的系统。详细介绍了该系统的光学原理、所采用对准目标的刻线形式、空间滤波的方法、信号处理的方法和对系统有影响的误差源以及改进措施。
In a step-by-step projection lithography machine, using a grating ranging from the alignment system. The optical principle of the system, the reticle alignment of the target, the method of spatial filtering, the method of signal processing, the error sources that affect the system and the improvement measures are introduced in detail.
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