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采用脉冲红外TEA—CO_2激光器,研究了半导体材料四氯化硅中杂质四氯化碳的激光解离。考察了激光脉冲数、体系的组成不同时,对激光纯化过程的影响,以及激光化学反应的规律。
激光解离四氯化碳提纯四氯化硅的研究
【摘 要】
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采用脉冲红外TEA—CO_2激光器,研究了半导体材料四氯化硅中杂质四氯化碳的激光解离。考察了激光脉冲数、体系的组成不同时,对激光纯化过程的影响,以及激光化学反应的规律。
【机 构】
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兰州化学物理研究所,西北师范大学化学系
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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1990年5期
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