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为了对存在于石英玻璃中的非桥氧空穴缺陷的特性进行研究，采用高频等离子体法对掺Yb^3+石英玻璃进行了制备。首先介绍了玻璃样品的制备过程，然后对所制备的掺Yb^3+石英玻璃样品的吸收特性、发射特性以及傅里叶变换红外吸收光谱进行了分析。结果表明，所制备的玻璃样品具有Yb^3+离子典型的吸收特性。位于260nm波长的吸收峰以及200nm激发波长下产生的位于630nm波长的发射峰都表明所制备的玻璃样品中存在非桥氧空穴缺陷。并且不同激发波长所产生的发射峰以及红外吸收光谱都说明玻璃样品中的非桥氧空穴缺陷是由≡Si－O