论文部分内容阅读
采用单相的ITO复合粉末经放电等离子烧结法（SPS）快速制备了ITO靶材。研究了SPS的主要工艺参数对ITO靶材致密化的影响。结果表明：靶材的相对密度随着烧结温度的升高而增大，在1000℃时达到最大值：在1000℃下烧结，延长保温时间使相对密度降低；在较低的温度下烧结时，延长保温时间有利于提高靶材的致密度；相对密度随着烧结压力的增加而增大；升温速率过快不利于靶材的致密化。对烧结试样的相组成和化学成分研究表明：不同温度下制备的ITO靶材均有少量的SnO2相析出，并有不同程度的失氧，铟锡的质量分数略大于ITO