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采用溶胶-凝胶工艺制备了MgO薄膜.X射线衍射谱显示,随热处理温度升高,薄膜结晶质量提高;原子力显微镜观测也得到相同的结果,且随热处理温度升高,薄膜表面粗糙度增加.
溶胶-凝胶工艺MgO薄膜制备及表征
【摘 要】
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采用溶胶-凝胶工艺制备了MgO薄膜.X射线衍射谱显示,随热处理温度升高,薄膜结晶质量提高;原子力显微镜观测也得到相同的结果,且随热处理温度升高,薄膜表面粗糙度增加.
【机 构】
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白城师范学院物理系
【出 处】
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白城师范学院学报
【发表日期】
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2011年5期
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