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用激光全息干涉法测试固体继电器工作状态时的热变形。实验结果表明固体继电器在通过电流时，芯片表面发生离面位移，据此可以判断芯片表面的平整度。并采用三维有限元程序对固体继电器内部的热应力和热变形进行计算分析。
固体继电器热变形的测试与分析
【摘 要】
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用激光全息干涉法测试固体继电器工作状态时的热变形。实验结果表明固体继电器在通过电流时，芯片表面发生离面位移，据此可以判断芯片表面的平整度。并采用三维有限元程序对固体
【机 构】
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清华大学工程力学系;
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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1995年04期
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