【摘 要】
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一、引言 用离子注入掺杂制造半导体器件的新工艺进入到批量生产的阶段后,半导体器件的生产单位往往需要一些专门生产某种特定类型器件的离子注入装置.对于这样的注入装置,除
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一、引言 用离子注入掺杂制造半导体器件的新工艺进入到批量生产的阶段后,半导体器件的生产单位往往需要一些专门生产某种特定类型器件的离子注入装置.对于这样的注入装置,除了要求稳定可靠外,还应当具备结构简单紧凑,操作方便而安全,造价低廉等特点.鉴于这一考虑,我们于1970年
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