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期刊论文
高铝GaAlAs及其多层结构MOVPE生长特性
高铝GaAlAs及其多层结构MOVPE生长特性
来源 :吉林大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhongxuw
【摘 要】
:
本文报导了高铝GaAlAs及其多层结构的生长特性.X光双晶衍射结果表明,多层GaAlAs叠层材料的X光双晶衍射峰呈现多级卫星峰,这表明材料具有良好的晶体完整性和结构周期性.更多还
【作 者】
:
张晓波
杨树人
【机 构】
:
吉林大学电子科学系、集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学系、集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区长春130023,长春130023,长春130023
【出 处】
:
吉林大学自然科学学报
【发表日期】
:
1993年3期
【关键词】
:
多层结构
镓铝砷化合物
MOVPE
GaAlAs
X-ray double crystal diffraction
doping
multiple lay
【基金项目】
:
国家自然科学基金委员会
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本文报导了高铝GaAlAs及其多层结构的生长特性.X光双晶衍射结果表明,多层GaAlAs叠层材料的X光双晶衍射峰呈现多级卫星峰,这表明材料具有良好的晶体完整性和结构周期性.更多还原
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