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通过自动极图衍射测量与极图分析研究空心阴极离子镀TiN膜晶粒取向,结果表明,TiN膜存在(111)织构,(111)晶面平行于沉积表面,研究了负偏压对TiN晶粒取向的影响,负偏压在0～200V范围内变化不改变织构类型与取向。
离子镀TiN膜织构的研究
【摘 要】
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通过自动极图衍射测量与极图分析研究空心阴极离子镀TiN膜晶粒取向,结果表明,TiN膜存在(111)织构,(111)晶面平行于沉积表面,研究了负偏压对TiN晶粒取向的影响,负偏压在0～200V
【机 构】
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北京工业大学金相教研室,北京工业大学金相教研室
【出 处】
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北京工业大学学报
【发表日期】
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1989年2期
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