【摘 要】
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随着硅单晶材料向着大直径、高性能方向发展,通过施加Cusp磁场来提高材料质量成为研究趋势。但目前大直径单晶炉Cusp磁场存在功耗大、加工难等缺点。针对这些问题,提出一种实
【机 构】
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浙江大学流体传动及控制国家重点实验室,上虞晶盛机电有限公司
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随着硅单晶材料向着大直径、高性能方向发展,通过施加Cusp磁场来提高材料质量成为研究趋势。但目前大直径单晶炉Cusp磁场存在功耗大、加工难等缺点。针对这些问题,提出一种实心螺线管式的磁场线圈结构及线圈外部冷却方式,然后以TDR130型单晶炉（32吋坩埚）为例,通过有限元分析法对其Cusp磁场分布、线圈匝数、间距等参数进行了数值模拟及分析,并根据模拟分析结果对磁场结构进行了优化及设计。实验结果表明：数值模拟结果与实测值较好地吻合,同时这种Cusp磁场线圈结构形式及冷却方式能够满足单晶炉的生产要求,功耗降低2
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