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Cleaning of HT-7 Tokamak Exposed First Mirrors by Radio Frequency Magnetron Sputtering Plasma
Cleaning of HT-7 Tokamak Exposed First Mirrors by Radio Frequency Magnetron Sputtering Plasma
来源 :黑龙江科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:akajewelz
【摘 要】
:
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7
【作 者】
:
YAN Rong
CHEN Junling
CHEN Lon
【机 构】
:
Institute of Plasma Physics, Chinese Academy of Sciences, Hefei 230031, China
【出 处】
:
黑龙江科技学院学报
【发表日期】
:
2014年12期
【关键词】
:
radio frequency
plasma sputtering
first mirror
cleaning
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为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7<
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